26. 1. 2020 13:52
Zdroj světla vyrábí firma Cymer, ne přímo ASML. Možná se pletu, viděl od nich nějaké video. ASML kompletuje stroje z dílů od různých subdodavatelů, mnozí mají ve svém oboru monopol.
26. 1. 2020 14:38
ASML vlastní firmu Cymer, tudíž vyjádření že ASML je jako jediná schopná vyrábět zdroje světla k EUV je v pořádku.